[实用新型]扩散炉结构有效
| 申请号： | 201921801104.7 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN210602790U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 曹文;朱廷刚;胡小龙 | 申请（专利权）人： | 江苏能华微电子科技发展有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;C30B33/02;C30B31/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 王桦 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种扩散炉结构，包括一端封闭、另一端敞开的石英管、与石英管敞开一端相连接的密封组件，密封组件包括第一连接件、第二连接件、第三连接件、第一密封圈以及第二密封圈，第一连接件固定套设在石英管上，第二连接件与第一连接件相连接，第三连接件与第二连接件相连接，第一密封圈同时位于石英管、第一连接件以及第二连接件之间，第二密封圈位于第二连接件、第三连接件之间，第三连接件形成炉门。本实用新型在提高了石英管直径的情况下，保证了炉体的密封性，清洗效果好，成本低，适用范围广，还可以对半导体晶片完成扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，解决了闭管扩散要求，同时避免了有毒气体的泄露污染环境危害操作人员。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 结构 | ||
【主权项】：
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