[实用新型]COW片载盘

摘要

本实用新型公开了一种COW片载盘，涉及检测技术领域。载盘包括外环和有一中心通孔的环形连接部，外环内侧面与环形连接部外侧面紧密接触；载盘还包括嵌于中心通孔中的中心置物盘，中心置物盘包括上表面、下表面和侧面，上表面和下表面平行，中心置物盘侧面与环形连接部内侧面紧密接触；在垂直于中心置物盘底面的方向上，外环、环形连接部和中心置物盘的底面位于同一水平面，外环高度大于等于环形连接部外侧面高度，环形连接部内侧面高度小于等于环形连接部外侧面高度，环形连接部内侧面高度大于中心置物盘高度。将置有待测COW片的载盘置于AOI检测机台上进行检测，有利于避免人工检测漏检和误判的情况，也有利于提高COW片的检测效率。