[实用新型]一种自动配料的气相沉积装置有效

专利信息
申请号: 201921832149.0 申请日: 2019-10-29
公开(公告)号: CN211005580U 公开(公告)日: 2020-07-14
发明(设计)人: 托马斯·斌·余;余海粟;朱轶方;陆骁莹 申请(专利权)人: 杭州超然金刚石有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22;C23C16/44;C23C14/54;C23C16/52
代理公司: 杭州信义达专利代理事务所(普通合伙) 33305 代理人: 陈继算
地址: 311402 浙江省杭州市萧山区*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种自动配料的气相沉积装置,属于材料制备和化学合成技术领域,包括温控机构、反应箱、试剂箱和减压组件;所述反应箱下端面设置有温控机构,所述反应箱上端面设置有试剂箱,所述试剂箱一侧设置有减压机构,所述减压机构固设于反应箱上端面,且所述反应箱内部中空设置有反应腔,所述反应腔内部设置有基底物和气化箱,所述气化箱上端面开设有气化腔,且所述气化箱上侧设置有调节机构,所述调节机构将试剂箱和气化箱彼此相连通;本实用新型结构简单,布局紧凑,其中,通过温控机构和减压组件有效实现气相沉积的控制,同时,通过第一比例块和第二比例块实现不同剂量的反应物输出,且适用于多种反应物的不同剂量输出,具备较强的适用性。
搜索关键词: 一种 自动 配料 沉积 装置
【主权项】:
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