[实用新型]一种后刻蚀式N型接触钝化电池有效

专利信息
申请号: 201921832835.8 申请日: 2019-10-29
公开(公告)号: CN210272384U 公开(公告)日: 2020-04-07
发明(设计)人: 王伟;马志杰;张一波;顾文操;盛健;张淳 申请(专利权)人: 协鑫集成科技股份有限公司;协鑫集成科技(苏州)有限公司;张家港协鑫集成科技有限公司
主分类号: H01L31/0236 分类号: H01L31/0236;H01L31/04
代理公司: 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 代理人: 姚惠菱
地址: 201400 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种后刻蚀式N型接触钝化电池,包括N型硅片、正面结构以及背面结构,背面结构包括隧穿层、n+多晶硅层、背面钝化层以及背面金属电极,隧穿层、n+多晶硅层以及背面钝化层沿渐远N型硅片的方向依次设置,n+多晶硅层朝向背面钝化层的表面局部凸出并嵌入背面钝化层中,背面金属电极贯穿背面钝化层,背面金属电极的内端与n+多晶硅层的凸出部份接触,其中,n+多晶硅层的非凸出部份的厚度为10‑50nm,n+多晶硅层的凸出部份的厚度为50‑250nm。本实用新型既可以减少背面的自由载流子吸收,提升双面电池的双面率,又消除金属化区域的金属复合,进一步提升N型接触钝化电池转化效率。
搜索关键词: 一种 刻蚀 接触 钝化 电池
【主权项】:
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