[实用新型]一种后刻蚀式N型接触钝化电池有效
申请号: | 201921832835.8 | 申请日: | 2019-10-29 |
公开(公告)号: | CN210272384U | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 王伟;马志杰;张一波;顾文操;盛健;张淳 | 申请(专利权)人: | 协鑫集成科技股份有限公司;协鑫集成科技(苏州)有限公司;张家港协鑫集成科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/0236 | 分类号: | H01L31/0236;H01L31/04 |
代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 姚惠菱 |
地址: | 201400 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种后刻蚀式N型接触钝化电池,包括N型硅片、正面结构以及背面结构,背面结构包括隧穿层、n+多晶硅层、背面钝化层以及背面金属电极,隧穿层、n+多晶硅层以及背面钝化层沿渐远N型硅片的方向依次设置,n+多晶硅层朝向背面钝化层的表面局部凸出并嵌入背面钝化层中,背面金属电极贯穿背面钝化层,背面金属电极的内端与n+多晶硅层的凸出部份接触,其中,n+多晶硅层的非凸出部份的厚度为10‑50nm,n+多晶硅层的凸出部份的厚度为50‑250nm。本实用新型既可以减少背面的自由载流子吸收,提升双面电池的双面率,又消除金属化区域的金属复合,进一步提升N型接触钝化电池转化效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 刻蚀 接触 钝化 电池 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的