[实用新型]一种硅片生产用底板丝杆移动底座

摘要

本实用新型公开了一种硅片生产用底板丝杆移动底座，包括箱体、丝杆和底板，所述丝杆通过安装板转动连接于箱体内，所述底板固定安装于箱体底部设置，所述箱体的外侧壁固定连接有横板，所述横板上通过连接柱固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有转动杆，所述转动杆贯穿箱体设置并延伸至其内部，所述转动杆与丝杆之间固定连接，所述转动杆位于箱体外的部分和横板上设有同一个清屑机构，所述丝杆上螺纹连接有安装块，所述底板内设有用于伺服电机降温的冷却机构。本实用新型通过冷却机构、清屑机构和除屑组件的配合，实现硅片生产中产生的碎屑进行清理，以及对驱动设备的冷却降温，延长了驱动设备的使用寿命。