[实用新型]一种硅处理纯水清洗处理机构有效
| 申请号： | 201921842493.8 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN210788411U | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 石坚;于友 | 申请（专利权）人： | 山东九思新材料科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 济南舜昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 37249 | 代理人： | 赵阳 |
| 地址： | 273213 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种硅处理纯水清洗处理机构，包括：依次串联连接的第一清洗槽，第二清洗槽以及第三清洗槽；第一清洗槽，第二清洗槽以及第三清洗槽上端开口，将待清洗的硅片放入。第一清洗槽的进液孔，第二清洗槽的进液孔以及第三清洗槽的进液孔分别与输液管道连接。将清洗液通过输液管道传输到第一清洗槽，第二清洗槽以及第三清洗槽。并且第一清洗槽，第二清洗槽以及第三清洗槽的液位高度不同。第三清洗槽液位最高，其次是第二清洗槽，最低的是第一清洗槽。这样清洗液通过通孔依次流通，并由回液驱动泵驱动形成环流，提高清洗效果，保证清洗过程的清洗质量，去除硅片表面的杂质，避免对硅片的后续使用造成影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 处理 纯水 清洗 机构 | ||
【主权项】：
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