[实用新型]一种用于MPCVD的张紧装置有效
| 申请号： | 201921849565.1 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN210906069U | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 袁博;刘虎;陈实 | 申请（专利权）人： | 四川三三零半导体有限公司 |
| 主分类号： | B01J3/06 | 分类号： | B01J3/06 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 梁伟东 |
| 地址： | 610000 四川省成都市中国(四川)自由*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及MPCVD设备技术领域，具体是一种用于MPCVD的张紧装置，用于解决现有技术中不能及时的测量和调节MPCVD设备中连杆张紧力的问题。本实用新型包括反应腔体、波导腔体和连杆，所述连杆上还安装有位于波导腔体下方的张紧装置，所述张紧装置包括张紧组件、弹性元件、托盘、预紧件、张紧件和称重传感器，所述称重传感器与显示器电性连接。本实用新型中由于连杆的张紧力发生变化会导致弹性元件的预紧力发生变化，而通过张紧装置中的重力传感器可以随时的测量出弹性元件的预计力并显示在显示器上，所以通过显示器可以随时看到连杆张紧力的变化，从而可以及时的测量出连杆张紧力的变化，进而可以及时的对连杆的张紧力进行调整。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 mpcvd 装置 | ||
【主权项】：
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