[实用新型]一种抛光表面检测装置有效
| 申请号： | 201921853522.0 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN211332765U | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 孙韬 | 申请（专利权）人： | 宁波日晟新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B49/12 | 分类号： | B24B49/12;B24B37/005;G01B11/06;G01B11/30 |
| 代理公司： | 宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙) 33312 | 代理人： | 朱玉泉 |
| 地址： | 315410 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体为一种抛光表面检测装置，包括基座、转动轴、研磨垫、修整器、抛光头、轴杆，还包括喷淋杆，喷淋杆上通过喷淋转轴转动连接有喷淋头，喷淋杆与喷淋头内设有供研磨液流动的液体通道，液体通道连通有补液通道，补液通道连接有补液箱，补液通道上还设有控制补液通道开闭的转动杆，转动杆上开设有研磨液通过的通孔，转动杆还同轴连接有传动组，传动组的另一端与喷淋转轴同轴连接。为了能够实时补充研磨液，本实用新型将喷淋头的转动与转动杆连动，且转动杆设置通孔，用转动杆的转动改变通孔的方向从而控制研磨液在补液通道的流通和截止。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 表面 检测 装置 | ||
【主权项】：
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