[实用新型]一种单晶炉的抽真空系统有效
| 申请号： | 201921854318.0 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN210974935U | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 姚以力;李光;于德金 | 申请（专利权）人： | 中山荣拓智能装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/20;F04B41/06;F04B37/14 |
| 代理公司： | 中山市科创专利代理有限公司 44211 | 代理人： | 谢自安;谢自成 |
| 地址： | 528400 广东省中山市翠*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本实用新型公开了一种单晶炉的抽真空系统，其包括炉体、一级泵以及二级泵，炉体上设置有出气口，一级泵的吸气端和出气口之间连接有一级抽气通道，一级抽气通道包括沿着气流方向依次设置的主管、主阀、一级支管、预抽阀以及汇流管，主阀为三通阀，二级泵的吸气端与主阀的另一出气端接通，二级泵的出气端通过二级支管与汇流管接通，二级支管上设置有能够控制其通断的前置阀。本实用新型能够对单晶炉进行两级抽真空，给单晶炉提供10 |
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| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 真空 系统 | ||
【主权项】：
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