[实用新型]一种探针测量装置有效
| 申请号： | 201921861530.X | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN211179939U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 潘华东;靳嫣然;周立;闵大勇;廖新胜 | 申请（专利权）人： | 苏州长光华芯光电技术有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R1/04;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 贾晓燕 |
| 地址： | 215163 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种探针测量装置，包括：基架；以及设于所述基架上的：电极夹具组件，其连接于电源，所述电极夹具组件包括固定夹具和活动夹具，所述活动夹具可相对于所述固定夹具运动以抵接于置于所述固定夹具上的待测量件；探针测量组件，其连接于测量仪表，所述探针测量装置包括第一探针和第二探针，所述第一探针和所述第二探针均直接抵接于所述待测量件以测得测量参数，其中所述第一探针固定连接于所述活动夹具。此结构的一种探针测量装置，通过设置第一探针和第二探针直接抵接于待测量件，以减少测量误差；通过设置第一探针固定连接于活动夹具，两者可通过同一驱动件驱动，使得装置的集成化较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 测量 装置 | ||
【主权项】：
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