[实用新型]一种单晶硅片垂直清洗装置有效
| 申请号： | 201921861677.9 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN210995605U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 朱汪龙;朱玲 | 申请（专利权）人： | 无锡乐东微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/08;H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 曹佩佩 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅片垂直清洗装置，属于硅片超声波清洗设备技术领域，本实用新型包括清洗带、传送带、药水池和电机，清洗带底部有数个分布均匀的凹槽，凹槽底部设有多个超声波振子，清洗带的外围设置转动块和转动杆，通过转动块和转动杆旋转清洗带，使凹槽中的单晶硅片和药水落入传送带中，药水通过传送带上的网眼落入药水池中，而传送带将单晶硅片传送至出料口。本实用新型提供的单晶硅片垂直清洗装置结构简单，操作方便，维修成本低，解决了现有的清洗装置结构复杂，维修成本高，时间长，影响工作效率的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 垂直 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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