[实用新型]一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备有效
| 申请号： | 201921870116.5 | 申请日： | 2019-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN211398403U | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 李明智;韩焕鹏;张颖武;莫宇;李明佳;张伟才 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 主分类号： | F16F13/00 | 分类号： | F16F13/00;F16F15/03;F16F15/04 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 胡京生 |
| 地址： | 300220*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备，设备包括上壳体、柔性受力弹簧、外壳体、振动传递杆下弹簧、隔振器、弹性件、缓冲器，其中隔振器包括振动接收杆、扭转弹簧、振动传递杆、振动传出杆，缓冲器由线圈和磁铁、大力振动传递杆组成，利用缓冲器的磁铁切割磁感线运动起到阻尼缓冲的作用减振，利用隔振器的扭转弹簧和振动传递杆下弹簧作用起到对于轻微振动的高敏感度，响应速度快的阻振效果，效果是，首次采用磁铁‑线圈的增大系统阻尼量的方法，从而到达快速削弱大幅振动，减小晶棒因振动受损的潜在隐患；当振幅变小或者振源频率变低时，隔振器不仅保护内部的结构，还提高隔振的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 硅单晶 落地 用隔振 缓冲 设备 | ||
【主权项】：
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