[实用新型]一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构有效

专利信息
申请号: 201921884778.8 申请日: 2019-11-04
公开(公告)号: CN210796697U 公开(公告)日: 2020-06-19
发明(设计)人: 王鹏;陶飞 申请(专利权)人: 扬州合晶科技有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B11/00;C30B15/00
代理公司: 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 代理人: 刘红阳
地址: 225000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构,用于进行单晶炉热场侧部保温装置与顶部保温装置的定位连接,侧部保温装置顶部设置有定位台阶,定位台阶上放置支撑环,支撑环上放置顶部保温装置,定位台阶上设置有定位槽,定位槽为贴合定位台阶外侧面设置的圆环形槽,支撑环为圆环结构,支撑环下侧面外圈对应定位槽设置有定位凸起,支撑环上表面设置有凹槽,顶部保温装置下部对应凹槽设置有突起与支撑环上表面凹槽进行接触定位,支撑环上下表面内侧端部均进行倒圆处理。本申请更改支撑环定位结构,保证石墨碎屑不会落入单晶炉中,同时在石墨支撑环内侧尖锐转角位置设置直径较大的倒圆,避免热应力引起的石墨脱落。
搜索关键词: 一种 用于 18 寸单晶炉热场 顶部 保温 支撑 定位 结构
【主权项】:
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