[实用新型]一种高温ALD前驱体源储存装置

摘要

本实用新型公开了一种高温ALD前驱体源储存装置，包括源瓶瓶体、上封头和下封头，所述瓶体内设有加热组件，所述上封头的外侧连接阀门管件，所述阀门管件包括两个VCR接头，所述两个VCR接头分别连接有第一隔膜阀和第二隔膜阀，所述第一隔膜阀的底部设有延伸至瓶体内部的进料接管，所述进料接管的底部连接有进料管，所述第二隔膜阀的底部设有延伸至瓶体内部的出口接管，所述出口接管的底部设有出口气泡发生器，所述源瓶瓶体上设有液位计。本实用新型提供的一种高温ALD前驱体源储存装置，通过在装置上设置液位计和蒸汽出口阀门调节加热汽化输出的汽化量，可极限利用储存装置中昂贵的化学品源，提高化学品利用率，降低成本，利于工艺参数的控制。