[实用新型]一种连续自动真空镀膜设备有效
申请号: | 201921895444.0 | 申请日: | 2019-11-06 |
公开(公告)号: | CN210736880U | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
发明(设计)人: | 海玉龙;郭红波;周杰 | 申请(专利权)人: | 苏州赛睿达纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域,尤其涉及一种连续自动真空镀膜设备,解决现有技术中存在效率低下、成本增加、镀膜间隔时间长的缺点,包括壳体,所述壳体的内部设有真空镀膜室,所述壳体的两侧分别通过螺母螺栓固定有支架和底座,所述支架的顶部通过螺栓安装有气缸,气缸的内部设置有活塞杆,所述活塞杆的另一端通过螺栓连接有移动隔板,移动隔板端部设有密封件,在每次更换工件时,可先将分隔室封闭,使工件与真空镀膜室的内部分隔,在工件更换进入后,再将分隔室打开进行镀膜加工,此时真空镀膜室内只存有少量的气体,可以快速地将真空镀膜室抽至真空,大大地提高了镀膜加工的效率且降低了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 连续 自动 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】:
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