[实用新型]一种静电卡盘及基板夹持装置有效
| 申请号： | 201921905361.5 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN212355630U | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 何启龙 | 申请（专利权）人： | 临沂晶华陶瓷有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 276000 山东省临沂*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及夹持装置技术领域，尤其是一种静电卡盘及基板夹持装置，包括放置箱体，放置箱体的一个侧壁上设有开口，放置箱体的内壁上对称连接有若干支撑板，若干支撑板之间等距设置，若干支撑板的底部均同轴设有压板，若干压板接近放置箱体内壁的一侧上对称垂直连接有两个定位杆，放置箱体内壁对应处设有条形槽，条形槽的长度等于支撑板与位于下放且相邻的压板之间的距离，定位杆的另一端贯穿对应位置处的条形槽设置，位于放置箱体外部的定位杆形成两排。本实用新型设置的支撑板能够对放置在压板顶部的基板、静电卡盘进行稳定的夹持，且增大了装置整体的夹持力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 卡盘 夹持 装置 | ||
【主权项】：
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