[实用新型]一种DLC连续镀膜生产线有效
| 申请号： | 201921910378.X | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN210945763U | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 黄乐;黄国兴;祝海生 | 申请（专利权）人： | 黄乐 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 张超宇;冯子玲 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种DLC连续镀膜生产线，包括呈直线依次连接的进口室、进口缓冲室、进口过渡室、第一工艺室组、隔离室、第二工艺室组、出口过渡室、出口缓冲室和出口室，形成连通的直线通道，以及和所述直线通道平行间隔布置的回架组，所述第一工艺室组和第二工艺室组分别包括多个工艺室，所述回架组包括多个依次衔接的回架。本实用新型的同一生产线上设有不同阴极设备，可在同一生产线上进行多层、连续镀膜，设有回架，通过同一传送机构进行基片传送，实现装载、卸载基片，回架结构简单有效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 dlc 连续 镀膜 生产线 | ||
【主权项】：
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