[实用新型]一种研磨液供给系统有效
| 申请号： | 201921910666.5 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN211073205U | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 任少军 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种研磨液供给系统，包括：主管路，所述主管路的第一端连接研磨液供给端，所述主管路的第二端连接研磨液输出端；设置于所述主管路上用于控制所述主管路通断的气动阀；气体供给管路，所述气体供给管路的第一端与供气端连接，所述气体供给管路的第二端与所述气动阀的进气端连接，用于向所述气动阀提供压缩空气；设置于所述气体供给管路上用于控制所述气体供给管路通断的电磁阀；液体泄漏检测装置，设置于所述气动阀和所述电磁阀之间且与所述气体供给管路连接，用于检测所述气动阀是否发生泄漏。根据本实用新型实施例的研磨液供给系统，可以自动检测气动阀是否发生泄漏，避免研磨液损坏电磁阀、污染气体供给管路。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 供给 系统 | ||
【主权项】：
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