[实用新型]一种硅片烘干装置有效
| 申请号： | 201921911146.6 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN210801919U | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 易书令;马晓林;潘岳林;姜大俊;潘励刚;郑旭然 | 申请（专利权）人： | 盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/12 | 分类号： | F26B15/12;F26B21/00;F26B25/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 224000 江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片烘干装置，其包括下滚轮、上滚轮和干燥组件。下滚轮为多个，多个下滚轮沿水平方向依次排布，下滚轮被配置为运输硅片，上滚轮为多个，多个上滚轮沿水平方向依次排布，上滚轮位于下滚轮上方，上滚轮的周面止抵在硅片上，干燥组件包括上出风条和下出风条，上出风条上设有上出风孔，下出风条上设有下出风孔，上出风条与下出风条正对设置，上出风条夹设在两个上滚轮之间，下出风条夹设在两个下滚轮之间。该硅片烘干装置能够较为均匀地去除硅片上的水分，避免了硅片上残留水分，保证了后续检测结果的精确性，此外还能较好避免硅片碎片的现象发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 烘干 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司，未经盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921911146.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种校正高炉布料角度的装置
- 下一篇：一种特殊结构的瓦楞纸开槽刀
