[实用新型]一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置有效
| 申请号： | 201921914353.7 | 申请日： | 2019-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN212332677U | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 徐良;曹力力;蓝文安;朱卫祥;夏建白;李京波 | 申请（专利权）人： | 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B62B3/00 | 分类号： | B62B3/00;B62B5/00;B62B5/06 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 董李欣 |
| 地址： | 321000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，包括推车框架、用于盛放陶瓷盘的多个陶瓷盘架、万向滚轮和直行滚轮，万向滚轮和直行滚轮分别转动连接于推车框架的底部两侧，多个陶瓷盘架沿推车框架的高度依次安装于推车框架的内部，多个陶瓷盘架与水平面成成夹角θ倾斜设置，夹角θ的角度为10‑20度。本实用新型的碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，可以高效稳定的对各工序陶瓷盘进行转运，也可以用于临时存放陶瓷盘，操作方便，能有效保证生产效率和产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶片 抛光 工艺 转运 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江博蓝特半导体科技股份有限公司，未经浙江博蓝特半导体科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921914353.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种涂层板表面涂层预处理清洗装置
- 下一篇：一种药品用多层输送装置
