[实用新型]卷对卷等离子体腔体结构有效

专利信息
申请号: 201921917803.8 申请日: 2019-11-08
公开(公告)号: CN210668270U 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 王晓东;马飞鹏 申请(专利权)人: 天津双微电子科技有限公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300000 天津市滨海新区华苑产*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型涉及腔体结构技术领域,且公开了卷对卷等离子体腔体结构,包括支撑脚,所述支撑脚的顶部固定安装有底板,所述底板的上表面开设有导轨槽,所述导轨槽的内部滑动连接有导轨,两个所述导轨的顶部固定安装有支撑板,所述支撑板的顶部固定安装有箱体,所述箱体的内部滑动安装有转轴,所述转轴的外侧分别固定安装有主动轮、进料辊、张力辊、除尘辊、收卷辊、浮动辊与从动轮,该设计,通过等离子体从主动轮的下表面的进入,接着会通过进料辊的上表面,再经过张力辊的下表面与浮动辊的上表面,接着通过两个除尘辊之间,再分别通过从动轮的上表面与下表面,最后通过两个收卷辊之间,从而达到可以进行卷对卷操作。
搜索关键词: 等离子 体腔 结构
【主权项】:
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