[实用新型]一种硅片清洗机用硅片清洗装置有效
| 申请号： | 201921925772.0 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN210847462U | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 孙芳良 | 申请（专利权）人： | 苏州高新区鼎正精密机电有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00;F26B21/00;B01D46/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215151 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片清洗机用硅片清洗装置，包括清洗机箱，所述清洗机箱的顶部开设有水平设置的清洗凹槽，所述清洗机箱的顶部两端均开设有第一孔洞，且两个第一孔洞的圆周内壁均套接有竖直设置的电动推杆，两个所述电动推杆的顶部均通过螺栓连接有竖直设置的固定顶块，两个所述固定顶块相靠近的一端均通过螺栓连接有水平设置的连接柱。本实用新型中，在清洗装置的清洗机箱的顶部开设孔洞并安装有电动推杆，电动推杆的顶部之间的固定顶块与连接柱整体通过轴承与固定侧板以及固定底板相连接，可以通过电动推杆控制固定底板的上升与下降，方便操作人员对于硅片的固定清洗以及取出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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