[实用新型]一种耐冲击性好的离子注入机质量分析器前端离子传输管有效
| 申请号： | 201921948659.4 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN210378965U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 薛芳峰;吴方军;乔德定;严建华;喻建华;余秋根 | 申请（专利权）人： | 德兴市意发功率半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/05;H01L21/67;H01L21/265 |
| 代理公司： | 南昌卓尔精诚专利代理事务所(普通合伙) 36133 | 代理人： | 陈志辉 |
| 地址： | 334000 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种耐冲击性好的离子注入机质量分析器前端离子传输管，属于半导体工艺设备技术领域，其技术方案要点是，包括外弯管和内弯管，外弯管上端口的外沿铸有第一凸缘，第一凸缘的上端面同轴开设有嵌入槽，嵌入槽的侧壁径向开设有四个插槽；内弯管从外弯管的上端口插入至外弯管的内部，内弯管上端口的外沿铸有第二凸缘，第二凸缘的侧壁径向开设有四个滑槽，滑槽的上壁开设有与第二凸缘的上端面相贯通的开口，每个滑槽的内部均滑动设置有插块。该种耐冲击离子传输管具有很好的耐冲击性，即使长年累月受到高温、高速离子束的冲击，也不容易被击穿、出现漏点，确保离子注入机能够长期正常使用，同时维修起来也方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冲击 离子 注入 质量 分析器 前端 传输 | ||
【主权项】：
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