[实用新型]一种PVD薄膜设备加热装置有效
申请号: | 201921967448.5 | 申请日: | 2019-11-14 |
公开(公告)号: | CN211251024U | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 钱万勇 | 申请(专利权)人: | 苏州三原流体科技有限公司 |
主分类号: | B29C35/02 | 分类号: | B29C35/02;B29L7/00 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 周超 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种PVD薄膜设备加热装置,包括底座,底座内设置有中空槽,底座一侧设置有开口,开口与中空槽连接,开口上设置有加热器,加热器与开口连接处设置有密封隔热板,中空槽内设置有加热管,加热管均匀排列在中空槽内,加热管与加热器连接,加热管与中空槽内壁固定连接,底座内设置有内环绕槽和外环绕槽,内环绕槽位于底座与中空槽之间,内环绕槽内设置有均热层,外环绕槽位于底座与内环绕槽之间,内环绕槽内设置有导热板,底座底面四角边缘处均设置有卡接槽,四角卡接槽上均设置有支撑杆,四角支撑杆底面设置有支撑座。本实用新型具有温度均衡,加热效果好,方便移动的有益效果,其主要用于进行加热。 | ||
搜索关键词: | 一种 pvd 薄膜 设备 加热 装置 | ||
【主权项】:
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