[实用新型]一种PVD薄膜设备加热装置有效

专利信息
申请号: 201921967448.5 申请日: 2019-11-14
公开(公告)号: CN211251024U 公开(公告)日: 2020-08-14
发明(设计)人: 钱万勇 申请(专利权)人: 苏州三原流体科技有限公司
主分类号: B29C35/02 分类号: B29C35/02;B29L7/00
代理公司: 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 代理人: 周超
地址: 215000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种PVD薄膜设备加热装置,包括底座,底座内设置有中空槽,底座一侧设置有开口,开口与中空槽连接,开口上设置有加热器,加热器与开口连接处设置有密封隔热板,中空槽内设置有加热管,加热管均匀排列在中空槽内,加热管与加热器连接,加热管与中空槽内壁固定连接,底座内设置有内环绕槽和外环绕槽,内环绕槽位于底座与中空槽之间,内环绕槽内设置有均热层,外环绕槽位于底座与内环绕槽之间,内环绕槽内设置有导热板,底座底面四角边缘处均设置有卡接槽,四角卡接槽上均设置有支撑杆,四角支撑杆底面设置有支撑座。本实用新型具有温度均衡,加热效果好,方便移动的有益效果,其主要用于进行加热。
搜索关键词: 一种 pvd 薄膜 设备 加热 装置
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