[实用新型]真空溅镀系统有效
| 申请号： | 201921973356.8 | 申请日： | 2019-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN211227316U | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 郭金柱;郑博仁;黄泳钊 | 申请（专利权）人： | 威欣系统股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 张雅军;史瞳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种真空溅镀系统，适用于在至少一基板上沉积薄膜，所述真空溅镀系统包含腔体、基座、自动化横移台车，及自动化取放片单元。所述腔体界定出制程腔室及邻近所述制程腔室的低真空腔室，并包括设置于所述制程腔室与所述低真空腔室之间的真空阀门。所述基座设置于所述制程腔室且用于承载所述至少一基板。所述自动化横移台车可移动地设置于所述低真空腔室并供至少一待溅镀基板置放。所述自动化取放片单元可移动地设置于所述低真空腔室且用以移动置放于所述基座上的所述至少一基板，或是置放于所述自动化横移台车上的所述至少一待溅镀基板。通过前述真空溅镀系统的结构，可避免在制造过程中破真空更换所述至少一基板且可降低耗费的时间并增加产能。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于威欣系统股份有限公司，未经威欣系统股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921973356.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种太阳能电池背板切割机构的推动装置
- 下一篇：一种机械零部件加工用打磨装置
- 同类专利
- 专利分类
