[实用新型]一种VAD芯棒沉积设备反应釜

摘要

本实用新型属于VAD芯棒沉积技术领域，尤其为一种VAD芯棒沉积设备反应釜，包括壳体，所述壳体的顶端内壁开设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑块，所述滑块的一侧固定连接有滑动板，所述滑动板上开设有固定槽，所述固定槽内设置有伸缩组件；本实用新型，通过伸缩组件、固定板、固定槽和弹性海绵的设置，可以对种棒进行固定，并在电机、齿牙、齿轮、滑槽和滑动板等的共同作用下，可以保证种棒的匀速转动，从而保证沉积时的稳定性，在过滤筒、过滤网和筒盖的共同作用下，可以将多余的粉尘进行过滤，在固定套和连接管的作用下，可以方便将过滤筒拆卸下来进行清理，并在筒盖的作用下，可以对过滤网进行拆卸。