[实用新型]一种半导体生产用抛光装置有效
| 申请号： | 201921984636.9 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN211332682U | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 周天 | 申请（专利权）人： | 安徽康越新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B55/12;B24B41/06;B24B41/00 |
| 代理公司： | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人： | 韩立峰 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山市经济技*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体生产用抛光装置，包括抛光台，所述抛光台的顶部设置有输送机构，所述抛光台的顶部固连有龙门架，所述龙门架的顶部固连有气缸，所述气缸的输出端贯穿至龙门架的内腔并固连有抛光机构，所述抛光台顶部的前侧和后侧均设置有与抛光机构相适配的夹具，所述龙门架的右侧设置有除尘机构，所述除尘机构包括固定于龙门架右侧的固定块，所述固定块的底部固连有吸屑罩，所述吸屑罩顶部的前侧和后侧均连通有吸屑管，所述抛光台顶部的前侧和后侧均固连有储屑箱，所述储屑箱的左侧与吸屑管连通，所述储屑箱的顶部固连有负压风机，所述负压风机的进风口与储屑箱连通且两者的连通处设有滤布。该抛光装置可实现抛光碎屑的自动清理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 生产 抛光 装置 | ||
【主权项】：
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