[实用新型]一种用于硅片加工的抛光机有效
| 申请号： | 201921991593.7 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN211760339U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 孙韬 | 申请（专利权）人： | 宁波日晟新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/06;B24B47/12;B24B57/02;B24B41/02 |
| 代理公司： | 宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙) 33312 | 代理人： | 朱玉泉 |
| 地址： | 315410 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于硅片加工的抛光机，使用时，将硅片放置在安装基座上，在启动升降气缸带动升降杆向下移动，进而带动第一交叉杆和第二交叉杆向下移动，上端板和下端板不仅能够将打磨盘调节到适当的位置，其本身也具有很好为稳定性，便于装置本体的使用；将下端板下端的打磨盘调节到合适的位置处后，在启动驱动电机带动安装基座在稳固座上进行转动，然后硅片自身也转动，通过稳固座上的嵌设柱能够使得安装基座稳固转动，使得硅片在打磨盘的下端稳定转动，便于提高硅片打磨的稳固性，此时将抛光液通过出液管和喷头进行喷洒，在安装基座转动的同时，能够带动硅片沿着打磨盘进行转动打磨，提高了打磨抛光的效率，经济实用，便于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 加工 抛光机 | ||
【主权项】：
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