[实用新型]一种平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置有效
| 申请号： | 201922008302.4 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN210886213U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 张晓岚;谢丑相;王国昌;籍龙占;吴历清 | 申请（专利权）人： | 杭州朗旭新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 万双艳 |
| 地址： | 310051 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，包括用以分别设于平面靶材外侧的上下两端的传动杆和导向杆，以及上下两端分别与所述传动杆和所述导向杆滑动连接的多个折叠杆，多个所述折叠杆之间装设有防护屏蔽面。上述平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，多个折叠杆沿传动杆和导向杆滑动以带动防护屏蔽面铺展拉开或折叠收回，折叠结构的形式减小了空间的占用，完全拉开时可起到未工作靶材表面的防护作用，部分拉开时还可调节靶材的溅射速率和溅射区域等重要参数，对工艺改善和升级提供新的思路。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 磁控溅射 阴极 防护 屏蔽 装置 | ||
【主权项】：
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