[实用新型]镀膜设备

摘要

一种镀膜设备，其包括第一反应腔组、第二反应腔组、一个第一工艺泵、一个第二工艺泵及一个抽真空泵，所述第一反应腔组包含相互独立的多个第一反应腔，所述第二反应腔组包含相互独立的多个第二反应腔，多个所述第一反应腔、所述第二反应腔分别与一个所述抽真空泵连接以实现共享所述抽真空泵，多个所述第一反应腔分别与一个所述第一工艺泵连接以实现共享所述第一工艺泵，多个所述第二反应腔分别与一个所述第二工艺泵连接以实现共享所述第二工艺泵，降低了工艺泵的数量，大幅度降低设备成本。