[实用新型]一种直拉法单晶用真空吸盘

摘要

本实用新型公开了一种直拉法单晶用真空吸盘，包括真空吸盘主体，所述真空吸盘主体的顶部固定连接有吊环，所述真空吸盘主体顶部的右侧连通有抽空管，所述真空吸盘主体两侧的底部均固定连接有吸盘下端定位块，所述吸盘下端定位块的内侧开设有密封圈安装槽，所述吊环的底部与真空吸盘主体顶部的连接处通过安装板固定连接。本实用新型通过设置真空吸盘主体、吊环、抽空管、吸盘下端定位块和密封圈安装槽的相互配合，达到了可以对大小及重量不同石英坩埚进行吊装的优点，解决了石英坩埚在吊装时不会出现受力不均匀，不会导致石英坩埚破裂，不会造成部分隐裂不会导致漏硅事故，减少经济损失和提高生产安全。