[实用新型]舟组自动限位装置有效
申请号: | 201922026609.7 | 申请日: | 2019-11-21 |
公开(公告)号: | CN210826348U | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 李阳;李岩;綦宗升;尹嘉琦 | 申请(专利权)人: | 大连连城数控机器股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C16/458;C23C16/40;H01L31/18 |
代理公司: | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人: | 赵淑梅;李洪福 |
地址: | 116000 辽宁省大连市甘井子区营城*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型公开了舟组自动限位装置,包括对称设置在舟组行走方向前后两端的自动限位机构;所述自动限位机构包括固定在工艺炉腔体底部外壁的安装弯板,所述安装弯板上安装有移动式凸轮,位于所述移动式凸轮的上方设有竖直穿过所述工艺炉腔体底部的限位导向轴,所述限位导向轴的底端安装有滚轮,所述滚轮与所述移动式凸轮的上表面滚动摩擦;所述限位导向轴的顶端安装有楔形动限位机构,所述楔形动限位机构包括楔形动限位块,所述舟组的托盘底部固定有与所述楔形动限位块相匹配的楔形定限位块。本实用新型能够完成精确限位的功能。且减小使用空间,采用移动式凸轮的水平运动使限位导向轴做竖直运动,减少了竖直方向的安装空间,增加了空间的利用率。 | ||
搜索关键词: | 自动 限位 装置 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的