[实用新型]一种晶圆涂胶显影用抓取手臂

摘要

本实用新型公开了一种晶圆涂胶显影用抓取手臂，包括手臂本体，所述手臂本体上设置有一组晶圆放置槽；所述手臂本体的内设置有主吸气通道，主吸气通道连通有通向各晶圆放置槽下方的分支吸气通道，所述晶圆放置槽内设置有与分支吸气通道连通的吸气孔；所述主吸气通道的两侧分别设置有冷却气体进气口和冷却气体出气口，所述主吸气通道和分支吸气通道的周边设置有冷却腔。本实用新型结构简单，能够将手臂及时的冷却，保证晶圆在涂胶显影时不会受手臂过热的影响而造成涂胶、显影不均匀，从而提高晶圆的加工质量，可广泛应用于LED衬底制造领域。