[实用新型]一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置有效
申请号: | 201922030084.4 | 申请日: | 2019-11-22 |
公开(公告)号: | CN210765503U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 冯林;李权;张军 | 申请(专利权)人: | 湖北天合光能有限公司 |
主分类号: | C23C16/513 | 分类号: | C23C16/513 |
代理公司: | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人: | 杨文录 |
地址: | 433000 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型公开的属于机械设备配件技术领域,具体为一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置,包括弧形管、第一管道和弯管,所述弧形管的右侧壁固定连接所述第一管道,所述第一管道的左侧壁贯穿所述弧形管的内腔右侧壁后与所述弯管的右侧壁螺纹连接,该种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置,将装置用真空卡箍与管道密封连接,打开手动阀,足够压力的压缩空气可以将真空管道内的粉尘顺利地吹向燃烧桶,配合弯管,使吹风过程沿内壁弧形上升,可把底部沉积的粉尘同步清理,避免堆积,避免人工清理粉尘的人力消耗和粉尘污染问题,为真空泵提供了良好的抽风的环境,增加真空泵尾排抽风量,延长其使用寿命,减少大笔维修成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 pecvd 真空泵 尾排吹扫 装置 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的