[实用新型]卷绕纠偏机构及具有其的卷对卷CVD设备有效
| 申请号： | 201922030564.0 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN210973246U | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 彭海琳;王可心;杨皓;曹风;王雄彪;武钦慈;刘忠范 | 申请（专利权）人： | 北京石墨烯研究院;北京大学 |
| 主分类号： | B65H23/038 | 分类号： | B65H23/038;B65H23/02 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 李建忠;袁礼君 |
| 地址： | 100095 北京市海淀区苏家*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开涉及卷绕装置技术领域，提出了一种卷绕纠偏机构及具有其的卷对卷CVD设备，卷绕纠偏机构位于卷对卷CVD设备的加热区之后，用于将位置发生偏移的金属箔材调整至原始位置，卷绕纠偏机构包括纠偏轴和固定轴，纠偏轴用于设置在卷对卷CVD设备的真空腔内；固定轴用于设置在真空腔内，金属箔材经过加热区之后依次绕过纠偏轴、固定轴以及卷对卷CVD设备的收料轴；其中，金属箔材搭设在纠偏轴上，纠偏轴可摆动地设置，以驱动金属箔材移动。通过纠偏轴带动位置发生偏移的金属箔材移动，即金属箔材受到的作用力方向会发生变化，在收料轴的拉动作用下，位置发生偏移的金属箔材会逐渐恢复到原始位置。 | ||
| 搜索关键词： | 卷绕 纠偏 机构 具有 cvd 设备 | ||
【主权项】：
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