[实用新型]一种吸盘、吸盘组件及承载设备

摘要

本实用新型提供了一种吸盘、吸盘组件及承载设备，所述吸盘包括：吸盘本体、限位组件和吸嘴，限位组件包括限位柱、支撑杆和旋转轴，限位柱固定在支撑杆上，支撑杆固定在旋转轴上，旋转轴可旋转地设置在吸盘本体上，当吸盘靠近承载工装时，限位柱可以限制硅片距承载工装之间的距离，以保证硅片与承载工装之间具有一定的间隙，防止硅片被承载工装划伤，本实用新型实施例提供的吸盘，无论承载工装是否发生变形，限位柱均能起到限位硅片距承载工装距离的作用，在硅片从承载工装中插卸的过程中，均不会对硅片造成划伤，并且限位柱也不会对承载工装造成划伤，提高了承载工装的使用寿命。