[实用新型]一种镀膜装置有效
| 申请号： | 201922048210.9 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN211112180U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 韩彬;王莉虹;石峰;赵楠;夏宇东;叶菁;孟红旗 | 申请（专利权）人： | 西安北方光电科技防务有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 西安吉盛专利代理有限责任公司 61108 | 代理人： | 江琴贤 |
| 地址： | 710043 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型一种镀膜装置，属于真空镀膜加工领域，本实用新型提供的一种镀膜装置，包括：连接架；第二遮蔽部件，第二遮蔽部件中部具有通孔；第一遮蔽部件，第一遮蔽部件小于所述通孔。桥架和支杆的组合方式增加了框体和遮挡部分间连接部件与加工面间的距离，从而可以在真空镀膜加工的过程中，利用镀膜伞架的快速转动使得蒸发材料‑遮挡物‑加工面间持续的位向变化，极大的削弱结构体对蒸发的遮蔽效果，不会使得镀膜区域分布不均匀甚至漏镀；其次，各部件的结构和组合方式设计科学，可通过调校保证尺寸精度，保证了非镀膜区域控制在误差范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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