[实用新型]排气装置及半导体设备

摘要

本实用新型提供一种排气装置及半导体设备，该排气装置应用于半导体设备，包括排气管道、阀门及第一检测组件，其中，所述排气管道连通所述半导体设备的工艺腔室和尾气处理装置；所述阀门设置于所述排气管道上；所述第一检测组件设置于所述排气管道上，且位于所述阀门与所述尾气处理装置之间，用于检测所述排气管道内的气体压力值或气体流量值。应用本实用新型可以确定排气管道及阀门的堵塞状态，防止工艺腔室压力过大，甚至发生爆炸等，从而保护反应腔室的安全。