[实用新型]一种等离子刻蚀机排风装置有效
| 申请号： | 201922081154.9 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN211612223U | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 廖海涛;吕军 | 申请（专利权）人： | 无锡邑文电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78;B01D35/027;B08B15/00 |
| 代理公司： | 常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙) 32325 | 代理人： | 金辉 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种等离子刻蚀机排风装置，包括进气管、分离管和支撑板，所述进气管顶端设置有分离管，分离管一侧设置有支撑板，支撑板上表面设置有电机，电机轴部连接有减速机，减速机连接有第二转轴，减速机一侧设置有驱动箱，第二转轴延伸至驱动箱内腔，所述第二转轴通过皮带传动结构连接有第一转轴，第一转轴延伸至分离管内腔，使用时，使得气体进入分离管中，由于第二转轴带动第一转轴转动，使得气体依次进入从分离管中排进导气管中，并经导气管进入壳体中，启动水泵，使得雾化喷头开始喷雾，从而对等离子刻蚀机产生的酸性气体进行气液两相充分接触吸收中和反应，酸雾废气经过净化后，再经集料槽脱水除雾后由风机排入大气。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 刻蚀 机排风 装置 | ||
【主权项】：
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