[实用新型]一种2DMEMS探针卡用干燥装置有效
| 申请号： | 201922107872.9 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN211041637U | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 刘明星;黄海军 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B25/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种2DMEMS探针卡用干燥装置，包括外箱、电动机、夹具、端盖、空心板、输气管、安装机构以及卡合机构；安装机构包括T型槽、T型块、回位弹簧、T型杆、弹簧一以及斜块；卡合机构包括固定块、固定销、L型杆、弹簧二以及压块。本实用新型当斜块与限位槽对齐时，在弹簧一弹力的作用下，斜块移动进入限位槽内部，进而将T型块卡接在T型槽内部，转动L型杆，L型杆转动与磁杆分离，在复位盘簧弹力的作用下，L型杆转动带动压块移动，使得压块与端盖贴合，L型杆继续转动对弹簧二进行压缩，使得弹簧二产生弹力，弹簧二的弹力提高了压块对端盖的压合力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 dmems 探针 干燥 装置 | ||
【主权项】：
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