[实用新型]一种缩短曝光时间的直写光刻装置有效
| 申请号： | 201922134967.X | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN210954610U | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 王伟 | 申请（专利权）人： | 常州弘盛达电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳正和天下专利代理事务所(普通合伙) 44581 | 代理人： | 杨波 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种缩短曝光时间的直写光刻装置，包括装置底座、透镜面板和平面齿轮，所述装置底座的正上方连接有第一支撑杆，且第一支撑杆的左右两侧设置有投影镜头，所述投影镜头的正上方设置有波长分束器，所述透镜面板的外侧连接有齿牙条，且齿牙条的底部连接有调试箱体，所述调试箱体的表面连接有旋转块，且调试箱体的一侧设置有照明灯，所述照明灯的外侧连接有设备外壳，且设备外壳的外侧铰接固定有第二支撑杆，所述平面齿轮安装在设备外壳的正下方。该缩短曝光时间的直写光刻装置，采用齿牙条与平面齿轮，通过平面齿轮带动齿牙条进行垂直升降，便于根据装置使用需求调节投影镜头与镜片之间的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缩短 曝光 时间 光刻 装置 | ||
【主权项】：
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