[实用新型]一种曝光机有效
| 申请号： | 201922158848.8 | 申请日： | 2019-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN210803974U | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 刘栋;张雷 | 申请（专利权）人： | 源能智创（江苏）半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215399 江苏省苏州市昆山市玉*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种曝光机，其包括运动平台、对位机构和曝光机构，所述对位机构和曝光机构置于所述运动平台的上方，所述运动平台包括运动机构和基板台面，所述基板台面设置有至少一可拆卸的中间标尺。所述曝光机相对于双台面曝光机有效提升了曝光产能，并极大提升了生产超大尺寸板的产能，同时得益于单台面设计，生产超大尺寸板的精度比双台面更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 | ||
【主权项】：
暂无信息
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