[实用新型]一种金刚石表面金属化装置结构有效
申请号: | 201922170665.8 | 申请日: | 2019-12-06 |
公开(公告)号: | CN211005593U | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 邹杨;孙蕾;邹松东 | 申请(专利权)人: | 洛阳奥尔材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/18;C23C14/56;C23C14/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型涉及表面金属化装置技术领域,且公开了一种金刚石表面金属化装置结构,包括真空镀膜箱,所述真空镀膜箱的内部开设有真空镀膜室,所述真空镀膜箱的左侧固定安装有真空抽气泵。本实用新型,通过在支撑柱的顶部固定安装有基片台,从而使电动机运转带动支撑柱,且支撑柱带动基片台,进而使基片台的顶部夹持连接有的金刚石片进行转动,且基片台的底部固定安装有真空加热器,从而可对真空镀膜室进行加热,最后通过真空镀膜室内顶壁的左右两侧固定连接的磁控溅射靶进行真空镀膜,从而使金刚石片金属化更为均匀、结合力更好,几乎元素周期表中的所有固体材料均可以溅射到金刚石表面,从而实现了金刚石表面金属化的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 金刚石 表面 金属化 装置 结构 | ||
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