[实用新型]一种直写式曝光机用台面清洁结构有效
| 申请号： | 201922182846.2 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN211454230U | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 肖磊 | 申请（专利权）人： | 上海探跃半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京华识知识产权代理有限公司 11530 | 代理人： | 乔浩刚 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种直写式曝光机用台面清洁结构，包括曝光机本体、风机管道和电动机，所述曝光机本体的内侧安装有玻璃台面，且玻璃台面的上方设置有清洁辊，所述清洁辊的外侧连接有防护块，所述清洁辊的表面预留有吸尘孔，且清洁辊的两端通过进气管和连接管相连，所述进气管的外侧套设有齿轮，且齿轮下方的曝光机本体上固定有固定板，所述连接管的外侧套设有套块，所述电动机安装在曝光机本体的外侧，且电动机的端头处连接有电机轴。该直写式曝光机用台面清洁结构，通过粘尘贴以及吸尘的方式对台面上灰尘进行清理，能够更好的提升清洁效率，也无需对粘尘贴频繁更换，并且设有对台面进行保护的机构，能够避免对台面造成损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直写式 曝光 台面 清洁 结构 | ||
【主权项】：
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