[实用新型]一种检测玻璃基板表面异物的装置有效
| 申请号： | 201922183978.7 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN211402177U | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 孟月;石卓;余慧;陈丽娟 | 申请（专利权）人： | 北京清大天达光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 叶树明 |
| 地址： | 101200 北京市平谷区马*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种检测玻璃基板表面异物的装置，包括检测装置和用于放置待检测物的平台，所述检测装置包括上料入口单元、加工单元、玻璃基板、激光传感器以及激光反射单元，当玻璃运动检测装置不动时，激光传感器和激光反射单元分别安装于上料入口单元的上方和下方，激光传感器发出的光源被激光反射单元反射回；当玻璃不动检测装置运动时，激光传感器发射出激光，达到激光反射单元上，再由激光反射单元将激光反射回传感器，激光束平行于玻璃基板表面，可以在物料进入的过程中检测，也可以在加工过程中检测，及早发现异物可以提高生产效率，同时避免异物对工艺设备造成损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 玻璃 表面 异物 装置 | ||
【主权项】：
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