[实用新型]一种石英舟

摘要

本申请公开了一种石英舟，包括一对相对设置的侧支撑杆，一根底支撑杆，一对相对设置的端板；所述侧支撑杆和所述底支撑杆呈倒三角分布，所述端板具有用于固定所述侧支撑杆和所述底支撑杆的多个槽孔。可见，本申请中的石英舟具有两根侧支撑杆、一根底支撑杆和应与固定侧支撑杆和底支撑杆的两块端板，侧支撑杆和底支撑杆呈倒三角形状分布，与现有技术相比，将端板之间的支撑杆的数量减少至三根，减小石英舟在炉管内占据的体积，降低石英舟对气流流通性的影响，从而增强扩散的均匀性，并且，端板之间的支撑杆的数量减少还能减小硅片与支撑杆的接触区域，减少硅片表面的卡槽印。