[实用新型]一种半导体生产加工用清洗装置有效
| 申请号： | 201922206007.X | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN211660585U | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 邵新龙 | 申请（专利权）人： | 合肥芯物半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00;B01F7/18 |
| 代理公司： | 合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142 | 代理人： | 张加宽 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经济技术开发*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体生产加工用清洗装置，包括：箱体，所述箱体底部设置有出液口；夹持装置，所述夹持装置设置在所述箱体内壁，其中，所述夹持装置包括设置在所述箱体内壁的U型槽，所述U型槽内活动卡设有承载板，所述承载板外壁卡设有半导体；清洗机构，所述清洗机构设置在所述箱体内部，本装置中清洗机构能够实现同一个电机带动两个搅拌轴以不同方向的转动，实现了箱体内清洗液的充分晃动，进而清洗液能够对夹持在承载板上的半导体进行充分的冲洗，清洗效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 生产 工用 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥芯物半导体材料有限公司，未经合肥芯物半导体材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201922206007.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：颗粒物监测仪
- 下一篇：一种半导体生产加工中废气处理系统
