[实用新型]碳化硅晶片清洗装置有效
| 申请号： | 201922207328.1 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN211757266U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 徐良;曹力力;蓝文安;刘建哲;余雅俊;夏建白;李京波;郭炜;叶继春 | 申请（专利权）人： | 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 董李欣 |
| 地址： | 321000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种碳化硅晶片清洗装置，该装置包括底座、把手、至少一个支撑杆和多个围栏；所述把手通过所述支撑杆连接在所述底座上；所述多个围栏分别连接在所述底座上，并且所述多个围栏与所述支撑杆以及所述底座合围形成容纳空间。该装置可以高效稳定的对装有晶片的多个卡塞盒进行清洗和转运，也可以用于临时存放卡塞盒，非常方便工人操作使用，还能够防止卡塞盒跌落造成的损失，有效的保证了生产效率和产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 晶片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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