[实用新型]光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统有效
| 申请号： | 201922224815.9 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN211504616U | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 邢利娜;史国华;高峰;何益;张欣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 张川 |
| 地址： | 215163 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统，包括波前像差测量模块：其包括第一光源、第一准直镜、第一分束镜、第一二向色镜、第二二向色镜、反射镜、缩扩束镜组、微透镜阵列和相机；偏心测量模块：其包括第二光源、第二准直镜、分划板、第二分束镜、变焦镜头、成像组件、第一探测器以及共用的第二二向色镜；和非接触间距测量模块：其包括第三光源、第一耦合器、参考臂、第二耦合器、第二探测器、第三准直镜以及共用的第一二向色镜和第二二向色镜。本实用新型可以将偏心测试、间隔测试和波前像差测试三个功能一体化集成，实现三个功能系统同光路设计，三个功能模块互不影响，切换方便，能减少因为切换组件带来的误差。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 镜头 间距 偏心 波前像差 一体化 测量 系统 | ||
【主权项】：
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