[实用新型]一种单层多自由度气静压纳米定位平台有效
| 申请号： | 201922236464.3 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN210896632U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 文杰;张莹 | 申请（专利权）人： | 三英精控（天津）仪器设备有限公司 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00;B25B11/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 天津协众信创知识产权代理事务所(普通合伙) 12230 | 代理人： | 王力强 |
| 地址： | 301700 天津市武清区*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及纳米定位技术领域，且公开了一种单层多自由度气静压纳米定位平台，包括工作台，工作台的上方设有工作箱，工作台的上端左右两侧的前后两端均固定连接有第一支撑腿，四个第一支撑腿的上端分别与工作箱的下端左右两侧的前后两端固定连接，工作箱的内部设有定位机构，工作台连接有水冷机构并通过水冷机构与工作箱连接，水冷机构包括蓄水箱、水泵及风机，蓄水箱的下端与工作箱的上端后侧固定连接，蓄水箱的内部固定设有隔板并通过隔板分为冷却腔及蓄水腔。本实用新型能够有效对压电致动器进行降温，防止压电致动器发送温度形变，影响定位结果误差，同时便于人们快速移动工作平台。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单层 自由度 静压 纳米 定位 平台 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三英精控（天津）仪器设备有限公司，未经三英精控（天津）仪器设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201922236464.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
